Ein guter Reinigungsprozess für die Vakuumversilberung kann den Enddruck der Ausrüstung verbessern
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Ein guter Reinigungsprozess für die Vakuumversilberung kann den Enddruck der Ausrüstung verbessern
During the use of vacuum coating equipment, parts will also be contaminated. This contamination is related to the conditions of use and the vacuum pump. For example: the inner wall of the vacuum coating machine will be polluted by the evaporation material; the mechanical pump oil of the vacuum pumping unit of the vacuum coating equipment is the source of pollution, and the equipment will form an obvious oil film inside the equipment after long-term operation. These contaminations will also affect the performance of the equipment and should be removed at any time. Especially the ultra-high vacuum multi-target magnetron + ion beam combined sputtering equipment, its ultimate pressure is 6.6x10-Pa, and the equipped vacuum pumping group is an ultra-high vacuum system. In ultra-high vacuum systems, the cleaning process is even more important. A good cleaning process can reduce material outgassing rates by orders of magnitude. For example, after the stainless steel is exposed to the atmosphere for a long time, without any treatment, the gas output rate after pumping for 1 hour is 2.7x10-Pa-L/s m2), and it can be reduced to 1.3x10-Pa-L/ after pumping for 4 hours after removing oil stains. Csm). After baking at 250℃ for 15h, the outgas rate is further reduced to 1.3x10-Pa-L/(sm>. Ein guter Reinigungsprozess kann den Enddruck der Ausrüstung erhöhen.
Die Vakuumversilberung besteht aus vielen verschiedenen Teilen
Vakuumbeschichtungsanlagen bestehen aus vielen verschiedenen Teilen, die alle durch verschiedene mechanische Prozesse wie Drehen, Fräsen, Hobeln, Schleifen, Bohren, Schweißen usw. vervollständigt werden. Dadurch wird die Oberfläche der Teile zwangsläufig mit vielen Verunreinigungen verschmutzt wie Bearbeitungsfett, Schweißflecken, Polierpaste, Flussmittel, Metallspäne, Fett usw. Diese Schadstoffe sind im Vakuum flüchtig und beeinträchtigen den Enddruck und die Leistungsstabilität von Vakuumbeschichtungsanlagen. Darüber hinaus adsorbieren Schadstoffe unter Atmosphärendruck eine große Menge Gas, und in der Vakuumumgebung werden diese Gase ebenfalls freigesetzt, was einen Faktor darstellt, der den Enddruck von Vakuumbeschichtungsanlagen begrenzt. Aus diesem Grund müssen Verunreinigungen vor dem Zusammenbau der Teile entfernt werden.
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