Reinigungstemperatur der Halbleiter-Ultraschallreinigungsmaschine

Reinigungstemperatur der Halbleiter-Ultraschallreinigungsmaschine

Beim Reinigungsprozess von Siliziumwafern ist die Temperatur der Reinigungslösung ein entscheidender Faktor. Die richtige Reinigungstemperatur kann die Entfernung von Ölflecken beschleunigen und den besten Reinigungseffekt erzielen. Wenn der Siliziumwafer in die Reinigungsflüssigkeit eingetaucht wird, dehnt sich der Ölfleck auf dem Siliziumwafer aus und die Kraft innerhalb des Ölflecks und zwischen dem Ölfleck und dem Siliziumwafer nimmt ab. Je höher die Temperatur, desto größer ist die Ausdehnung des Ölflecks und desto schwächer ist die Kraft. Je leichter die Tensidmoleküle den Ölfleck von der Oberfläche des Siliziumwafers lösen. Gleichzeitig können Temperaturänderungen zu Veränderungen der Eigenschaften der Mizellen selbst und zur Auflösung gelöster Substanzen in den Mizellen führen. Die Polyoxyethylenkette (CH2CH2O) n eines Tensids vom Polyoxyethylentyp hydratisiert in Wasser und bildet eine Wasserstoffbindung mit dem Wasserstoff im Wassermolekül. Mit zunehmender Temperatur werden die Wasserstoffbrückenbindungen schwächer, einige brechen sogar und die Hydratation nimmt ab. Es bilden sich leicht Mizellen und auch die Aggregationszahl der Mizellen nimmt deutlich zu, wodurch die Löslichkeit von Schadstoffen wie Fett erhöht wird. Diese Situation begünstigt die Reinigung von Siliziumwafern. Wenn die Temperatur auf etwa 60 Grad ansteigt, beschleunigt die Polyoxyethylenkette (CH2CH2O) n die Dehydrierung und erzeugt eine Kräuselung, wodurch der Solubilisierungsraum der Mizellen verringert wird, die Kompatibilisierungsfähigkeit verringert wird und die Reinigungslösung von transparent zu Emulsion wechselt. Diese Temperatur wird als Trübungspunkttemperatur der Lösung bezeichnet. Die Solubilisierungsfähigkeit ist nur dann am stärksten, wenn die Temperatur nahe an der Trübungspunkttemperatur der Tensidlösung liegt. Daher ist es sinnvoll, die Temperatur der Reinigungslösung auf 60 Grad einzustellen.

1. Integriertes Design, kompakt, einfach zu bedienen;

2. Fließender Betrieb zur Vermeidung von Produktkratzern;

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5. Konfigurieren Sie ein Öl-Wasser-Trenn- und Filtersystem, um die Ausnutzungsrate von Reinigungsmitteln sicherzustellen.

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