Czochralski-Einkristallofenausrüstung:
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Einkristall-Ofenkörper:
Der Ofenkörper ist der Ort, an dem polykristallines Silizium schmilzt und monokristallines Silizium wächst, und das Heizsystem befindet sich darin
Czochralski-Einkristallofenausrüstung:
Ofenkörper, Vakuumsystem, Gassystem, thermisches Feldsystem, elektrisches Steuerungssystem, Getriebesteuerungssystem
Das Prinzip des Czochralski-Einkristallofens:
Einkristallines Silizium wird durch Drehen und Ziehen des Impfkristalls aus geschmolzenem Silizium hergestellt
Einkristallofen-Silizium-Einkristall-Wachstumsmethode:
Zu den Wachstumsmethoden für Silizium-Einkristalle gehören die CZ-Methode (Czochralski-Methode) und die FZ-Methode (Zonenschmelzmethode).
Hochreines einkristallines Silizium ist ein wichtiges Halbleitermaterial
Dotieren kleiner Mengen von Elementen der Gruppe IIIA in monokristallines Silizium, um p-Typ-Siliziumhalbleiter zu bilden; Dotierung mit kleinen Mengen von Elementen der Gruppe VA, um zusammen n-Typ- und p-Typ-Halbleiter zu bilden, die zu Solarchips verarbeitet werden können, um Strahlungsenergie in elektrische Energie umzuwandeln. Es ist ein vielversprechendes Material für die Energieentwicklung. Polysilizium hat ein Diamantgitter, der Kristall ist hart und spröde, hat einen metallischen Glanz und kann Elektrizität leiten, aber die Leitfähigkeit ist geringer als die von Metall, und sie nimmt mit steigender Temperatur zu und hat Halbleitereigenschaften. Kristallines Silizium hat einen Schmelzpunkt von 1410 Grad und einen Siedepunkt von 2355 Grad. Dichtes amorphes Silizium ist ein schwarzgraues Pulver.
Physikalische Eigenschaften von monokristallinem Silizium und polykristallinem Silizium
Kristallines Silizium ist eine Form von elementarem Silizium. Wenn geschmolzenes elementares Silizium unter Unterkühlungsbedingungen erstarrt, werden Siliziumatome in Form eines Diamantgitters zu vielen Kristallkeimen angeordnet. Wenn diese Kristallkeime zu Kristallkörnern mit unterschiedlicher Ausrichtung der Kristallebene heranwachsen, verbinden sich diese Kristallkörner und kristallisieren zu Polysilizium. Polykristallines Silizium kann als Rohstoff zum Ziehen von monokristallinem Silizium verwendet werden. Der Unterschied zwischen polykristallinem Silizium und monokristallinem Silizium zeigt sich hauptsächlich in den physikalischen Eigenschaften. Beispielsweise ist die Anisotropie im Hinblick auf die mechanischen Eigenschaften, optischen Eigenschaften und thermischen Eigenschaften weitaus weniger offensichtlich als die von einkristallinem Silizium; In Bezug auf die elektrischen Eigenschaften ist die Leitfähigkeit von polykristallinen Siliziumkristallen weitaus weniger bedeutsam als die von einkristallinem Silizium oder sogar fast gar nicht leitfähig. Bezüglich der chemischen Aktivität ist der Unterschied zwischen beiden äußerst gering. Polykristallines Silizium und monokristallines Silizium können optisch unterschieden werden, die tatsächliche Identifizierung muss jedoch durch Analyse der Kristallebenenrichtung, des Leitfähigkeitstyps und des spezifischen Widerstands des Kristalls bestimmt werden.
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