Abscheidung dünner Filme auf Substraten durch Sputtern mit einem Vakuumbeschichter
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Abscheidung dünner Filme auf Substraten durch Sputtern mit einem Vakuumbeschichter
Sputtern ist ein Phänomen, bei dem geladene Teilchen (normalerweise positive Ionen eines Inertgases) verwendet werden, um die Oberfläche eines Festkörpers (im Folgenden als Target bezeichnet) zu bombardieren, wodurch Atome (oder Moleküle) auf der Oberfläche des Targets entweichen Es. Dieses Phänomen wurde 1842 von Grove entdeckt, als er experimentell das Problem der kathodischen Korrosion untersuchte, bei der das Kathodenmaterial zur Wand der Vakuumröhre wanderte. Der Vakuumbeschichter nutzte dieses Sputterverfahren zur Abscheidung dünner Filme auf dem Substrat und wurde 1877 eingeführt.
Klassifizierung und Anwendungsbereich von Vakuumbeschichtungsmaschinen
Normalerweise verwenden wir zum Entgasen von Werkstücken das Backen, wobei das Gas und die Feuchtigkeit im Werkstück durch Erhitzen abgeführt werden. Vor dem Beschichten wird das Werkstück unter Pumpen erhitzt. Zusammen mit dem Gas in der Vakuumkammer wird es von der Vakuumpumpe abgepumpt.
Für verschiedene Werkstücke werden unterschiedliche Entgasungsmaßnahmen ergriffen, um die Emission von Gas und Feuchtigkeit im Inneren des Werkstücks effektiv zu kontrollieren und die Stabilität und Gleichmäßigkeit der Beschichtung zu verbessern. Klassifizierung und Anwendungsbereich von Vakuumbeschichtungsmaschinen Vakuumbeschichtungsmaschinen beziehen sich hauptsächlich auf eine Art von Beschichtung, die unter Hochvakuum durchgeführt werden muss, einschließlich vieler Arten, einschließlich Vakuum-Ionenverdampfung, Magnetronsputtern, MBE-Molekularstrahlepitaxie und PLD-Lasersputtern Und so viele Arten.
Die Wahrscheinlichkeit einer Vakuumbeschichtungsmaschine hängt von den physikalischen Eigenschaften des Werkstücks selbst ab
Manche Werkstücke enthalten viel Gas, Feuchtigkeit etc. in sich. Diese Substanzen werden beim Erhitzen des Geräts in die Vakuumkammer abgegeben, wodurch der Vakuumgrad sinkt. Darüber hinaus enthalten manche Gase giftige Bestandteile, die die Vakuumkammer direkt schädigen. Die interne mechanische Struktur führt dazu, dass das Gerät nicht ordnungsgemäß funktioniert. Darüber hinaus kann es während des Beschichtungsprozesses aufgrund der Erwärmung und Ausdehnung des Gases im Werkstück leicht zu Rissen im beschichteten Film kommen. Die Wahrscheinlichkeit dieser Situation hängt natürlich von den physikalischen Eigenschaften des Werkstücks selbst ab, beispielsweise von Kunststoffen, die sich leicht ausdehnen lassen. Die Wahrscheinlichkeit ist relativ hoch. Bei harten Materialien wie Metall ist die Wahrscheinlichkeit relativ gering, kann aber nicht ignoriert werden, sodass die Entgasung des Werkstücks unbedingt erforderlich ist.
Der Vakuumzustand ist die Umgebung, die den Betrieb der Vakuumbeschichtungsmaschine unterstützt, insbesondere der Ausrüstung, die ein hohes Vakuum erfordert. Normalerweise müssen wir ein hohes Vakuum erreichen. Die Rolle des Luftabsaugsystems ist unverzichtbar, aber zusätzlich zum Luftabsaugsystem in der Vakuumbeschichtungsanlage Im Betriebsprozess ist ein weiterer Punkt die Entgasung des Werkstücks.
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