Konstruktionsmerkmale des Multichip-Vergleichschipgeräts einer Vakuumbeschichtungsmaschine

Konstruktionsmerkmale des Multichip-Vergleichschipgeräts einer Vakuumbeschichtungsmaschine

1) Die zylindrische Form des festen Zylinders, die Gestaltung des großen Durchmessers, die dickwandige Struktur und die umfänglich symmetrische Befestigungsmethode können eine ausreichende Festigkeit und Steifigkeit gewährleisten und gleichzeitig das Hoch verhindern Temperaturspritzendes Schleifmittel verhindert, dass die Innenteile verunreinigt werden. Stellen Sie die Flexibilität der Zifferblattdrehung sicher.

2) Das Design des kreisförmigen Lagersitzes gewährleistet die Abdichtung und Vertikalität der Lagersitzinstallation; Erhöhen Sie den Durchmesser der Welle, vergrößern Sie den Einbauabstand zwischen den beiden Lagern im Lagersitz, verbessern Sie die eigene Festigkeit und Steifigkeit und stellen Sie den Rotationsprozess sicher. Die Steifigkeit der Achse 1 und die Rotationsflexibilität des Zifferblatts sorgen für die Konsistenz der Positionswiederholbarkeit.

3) Durch Beladen des Transpositionsmechanismus wird durch Erweitern des Durchmessers der Trägerplatte die effektive Fläche des Mechanismus in Ebenenrichtung vergrößert und es kann ein Vergleichsfilm mit großem Durchmesser (Φ26,5 mm) installiert werden, was förderlich ist die Anpassung des optischen Pfades und verbessert die Qualität des optischen Films; Als Vergleichsstückeinheit wird ein einzelnes Glasstück verwendet und das Vergleichsstück in einem dreidimensionalen Raum installiert. Mehrere Glasstücke werden übereinander gelegt und in einem Vergleichsstück-Speicherzylinder installiert, sodass 50 bis 100 Vergleichsstücke gleichzeitig platziert werden können, wodurch das Problem einer übermäßigen Beschichtung durch die Beschichtungsmaschine gelöst wird. Die Anzahl der Schichten optischer Präzisionsfilme ist relativ gering, was sich auf die Anzahl der Beschichtungsschichten und die Genauigkeit auswirkt.

4) Durch das Zusammenwirken der Positionierungsplatte und der schlitzförmigen optischen Kopplung werden durch die schlitzförmige optische Kopplung die drei gleichmäßig geteilten 120-Grad-Schlitze auf der Positionierungsplatte erfasst und die Motordrehung bis zum Stopp gesteuert. Die Konsistenz der Drehung und Positionierung der Achse 1 ist gewährleistet, und die Wählscheibe wird angetrieben, um den präzisen Aufnahmevorgang durchzuführen.

5) Der Wilson-Dichtmechanismus wird in den rotierenden Dichtungseinzugsmechanismus eingeführt, der nicht nur die flexible Drehung der vom Motor angetriebenen Welle durch Zahneingriff gewährleistet, sondern auch die Dichtwirkung der Vakuumkammer nach außen gewährleistet. Das optimierte Design des Multi-Chip-Vergleichsgeräts der Vakuumbeschichtungsmaschine weist folgende Eigenschaften auf: (1) Einfache Struktur, hohe Festigkeit und gute Zuverlässigkeit; (2) Die Anzahl der Vergleichschips ist groß, die Produktionseffizienz wird verbessert und es können ultramehrschichtige Präzisionsoptiken beschichtet werden. (3) Der Durchmesser des Vergleichsfilms wird erhöht, die Präzision der Filmüberwachung wird verbessert Die Anforderungen an das Hardwaresystem werden reduziert und das System lässt sich leicht automatisch steuern.

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