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Verschiedene Entgasungsmaßnahmen für Vakuumbeschichtungsmaschine

Verschiedene Entgasungsmaßnahmen für Vakuumbeschichtungsmaschine

 

Normalerweise verwenden wir zum Entgasen von Werkstücken das Backen, wobei das Gas und die Feuchtigkeit im Werkstück durch Erhitzen abgeführt werden. Vor dem Beschichten wird das Werkstück unter Pumpen erhitzt. Zusammen mit dem Gas in der Vakuumkammer wird es von der Vakuumpumpe abgepumpt.

Für verschiedene Werkstücke werden unterschiedliche Entgasungsmaßnahmen ergriffen, um die Emission von Gas und Feuchtigkeit im Inneren des Werkstücks wirksam zu kontrollieren und die Stabilität und Gleichmäßigkeit der Beschichtung zu verbessern.

Vakuumbeschichtungsmaschine, Gasheizung, Expansionsfilmriss

 

Manche Werkstücke enthalten viel Gas, Feuchtigkeit etc. in sich. Diese Substanzen werden beim Erhitzen des Geräts in die Vakuumkammer abgegeben, wodurch der Vakuumgrad sinkt. Darüber hinaus enthalten manche Gase giftige Bestandteile, die die Vakuumkammer direkt schädigen. Die interne mechanische Struktur führt dazu, dass das Gerät nicht ordnungsgemäß funktioniert.

Darüber hinaus kann es während des Beschichtungsprozesses aufgrund der Erwärmung und Ausdehnung des Gases im Werkstück leicht zu Rissen im beschichteten Film kommen. Die Wahrscheinlichkeit dieser Situation hängt natürlich von den physikalischen Eigenschaften des Werkstücks selbst ab, beispielsweise von Kunststoffen, die sich leicht ausdehnen lassen. Die Wahrscheinlichkeit ist relativ hoch. Bei harten Materialien wie Metall ist die Wahrscheinlichkeit relativ gering, kann aber nicht ignoriert werden, sodass die Entgasung des Werkstücks unbedingt erforderlich ist.

Durchlässigkeit der optischen Antireflexionsschicht des Vakuumbeschichters

 

Die Schnittstelle des Steuerungssystems ist klar und benutzerfreundlich, die Programmierung ist einfach, die Bedienung ist bequem, die Daten werden schnell abgerufen, das System ist stabil und zuverlässig und die Prozesswiederholbarkeit ist gut. Es bietet eine gute Plattform, um die Leistung der Antireflexionsbeschichtung von GaAs-Solarzellen zu verbessern.

Dennoch findet die Entwicklung von Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtungsmaschinen in China seit Jahrzehnten statt. Obwohl die Technologie kontinuierlich verbessert wurde, besteht insbesondere im High-End-Bereich immer noch eine gewisse Lücke im Vergleich zu ausländischer Spitzentechnologie. Obwohl es sich bei der Steuerungstechnologie, die in diesem Artikel auf die Elektronenstrahl-Verdampfungsbeschichtungsmaschine angewendet wird, nicht um eine sehr neue Technologie auf der Welt handelt, ist die Anwendung des Steuerungssystems in dieser Hinsicht bei den in China hergestellten Vakuumanwendungsgeräten immer noch selten und muss es auch sein über einen langen Zeitraum stabil und zuverlässig arbeiten kann. Es gibt viel Raum für Entwicklung, was mit dem Gesamtentwicklungsstand der Haushaltsvakuumindustrie bei High-End-Vakuumanwendungsgeräten zusammenhängt.

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