Erläuterung der Temperaturkalibrierungstechnologie für Hochtemperatur-Glühofenthermometer

Es wird berichtet, dass der Hochtemperatur-Glühofen über ein Regelsystem verfügt, das aus einem beschleunigten digitalen PLD-Temperaturregler, einem Thermoelement, einem Pyrometer und einer Wärmequelle besteht, um die Temperatur korrekt zu steuern. Durch die gemeinsame Steuerung von Halogenlampen in verschiedenen Regionen kann der Temperaturunterschied in jeder Region während des Temperaturregelungsprozesses ausgeglichen werden, sodass die Temperatur verschiedener Regionen auf dem Substrat unverändert bleibt. Aufgrund seiner Installation am Boden des Hohlraums kann das Pyrometer nur Strahlung von der Rückseite des Substrats und keine Strahlung von der Lampe empfangen. Daher kann ein Pyrometer die Temperatur des Substrats genau messen. Das Prinzip der Temperaturkalibrierung dieses Pyrometers ist wie folgt:
1. Einführung in das Pyrometer:
Das in diesem Artikel vorgestellte Pyrometer ist ein optisches Pyrometer mit Wärmestrahlung. Wenn das Pyrometer Infrarotstrahlung vom Messobjekt empfängt, wird das optische Signal gefiltert, fotoelektrisch umgewandelt und verstärkt, um ein analoges Signal zu erhalten, das dann an das Signalschnittstellen-Schaltkreismodul des Sensors übertragen wird. Dieses Modul führt eine A/D-Wandlung des Signals durch und wandelt es in ein digitales Signal um, das vom Computer erkannt werden kann. Das an den Computer zurückgekoppelte digitale Signal wird im Folgenden als Pyrometer-Feedbackwert bezeichnet.
2. Temperaturkalibrierungstabelle:
Gemäß den einschlägigen Gesetzen hängt die Temperatur eines Objekts von seiner Strahlung und seinem spektralen Emissionsgrad ab. Bei Hochtemperatur-Glühöfen hängt die vom Pyrometer empfangene Strahlungsmenge hauptsächlich von Faktoren wie Substratmaterial, Dotierung, natürlicher Oxidschicht auf der Oberfläche und Substrattemperatur ab. Für den gleichen Substrattyp (dh Substrate mit dem gleichen Material, der gleichen Dotierung und der gleichen natürlichen Oxidschicht auf der Oberfläche) hängt die vom Pyrometer empfangene Strahlungsmenge mit der Substrattemperatur zusammen. Daher entspricht der Rückkopplungswert des Pyrometers für den gleichen Substrattyp eins zu eins der Substrattemperatur. Diese Entsprechung stellt Temperaturkalibrierungsdaten dar, und eine Temperaturkalibrierungstabelle wird verwendet, um die Beziehungsdaten zwischen mehreren Substrattemperaturen und Rückmeldungswerten eines Pyrometers zu speichern. Unterschiedliche Temperaturen entsprechen unterschiedlichen Rückkopplungswerten des Pyrometers. Der Hochtemperatur-Glühofencomputer kann die tatsächliche Temperatur des Substrats basierend auf der Signalwertrückmeldung vom Pyrometer und der Temperaturkalibrierungstabelle berechnen.