Wie misst man die Filmdicke einer Vakuumbeschichtungsmaschine?
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Wie misst man die Filmdicke einer Vakuumbeschichtungsmaschine?
Nach der Beschichtung der Folie mit der Vakuumbeschichtungsmaschine kann es erforderlich sein, die Dicke der Folienschicht zu messen. Mit welcher Methode wird die Dicke der Folienschicht gemessen?
Die direkteste Methode zur Beschichtungskontrolle ist die Quartz Crystal Micro-Balance Method (QCM). Dieses Instrument kann die Verdampfungsquelle direkt antreiben und die Schallwand durch PID-Steuerung antreiben, um die Verdampfungsrate aufrechtzuerhalten.
Solange das Gerät mit der Systemsteuerungssoftware verbunden ist, kann es den gesamten Beschichtungsprozess steuern. Die Genauigkeit von (QCM) ist jedoch begrenzt, unter anderem weil es die Qualität der aufgetragenen Beschichtung und nicht deren optische Dicke überwacht.
Während QCM bei niedrigeren Temperaturen sehr stabil ist, wird es bei höheren Temperaturen sehr temperaturempfindlich. Bei längerem Erhitzen lässt sich nur schwer verhindern, dass der Sensor in diesen empfindlichen Bereich fällt und erhebliche Fehler im Film verursacht.
Die optische Überwachung ist die bevorzugte Überwachungsmethode für hochpräzise Beschichtungen, da sie (bei richtiger Anwendung) eine genauere Kontrolle der Schichtdicke ermöglicht.
Die Verbesserung der Genauigkeit ist auf viele Faktoren zurückzuführen, der grundlegendste ist jedoch die Überwachung der optischen Dicke.
Wenn die Diffusionspumpe länger als 6 Monate ununterbrochen verwendet wurde, ist die Pumpgeschwindigkeit offensichtlich verlangsamt oder der Betrieb ist fehlerhaft. Füllen Sie die Luft in die Atmosphäre, entfernen Sie die Verbindungswasserleitung, entfernen Sie den Elektroherd und schrauben Sie die Düse der ersten Ebene ab. Waschen Sie die Gallenblase einmal, waschen Sie sie dann mit einem mit Wasser vermischten Waschpulver und reinigen Sie sie anschließend gründlich mit Wasser. Nachdem das Wasser verdunstet und getrocknet ist, installieren Sie die Pumpengallenblase, fügen Sie neues Diffusionspumpenöl hinzu, setzen Sie es wieder in den Körper ein, schließen Sie die Wasserleitung an und installieren Sie den Elektroofen. Festplatte, Sie können neu starten. Achten Sie vor der Wiederinbetriebnahme auf die Lecksuche. Die Methode ist: Starten Sie die Wartungspumpe, schließen Sie die Tür und beobachten Sie nach einigen Minuten, ob der Vakuumgrad der Diffusionspumpe 6 x 10 Pa erreicht. Andernfalls ist eine Lecksuche erforderlich.
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