Ideale Schichtdicke für die Vakuumversilberung
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Ideale Schichtdicke für die Vakuumversilberung
Dicke bezieht sich auf den Abstand zwischen zwei vollkommen flachen parallelen Ebenen, und dieses Konzept ist ein geometrisches Konzept. Die ideale Filmdicke bezieht sich auf den Abstand zwischen der Substratoberfläche und der Filmoberfläche. Bei der dreidimensionalen Messung der Filmtopographie können die anderen zweidimensionalen Messungen relativ zur Dicke des Films als unendlich bezeichnet werden. Da die tatsächliche Oberfläche uneben und diskontinuierlich ist und der Film Poren, Verunreinigungen, Gitterfehler und Oberflächenadsorptionsmoleküle enthalten kann, muss die gesamte Dicke des Films genau definiert und genau gemessen werden. ist sehr schwer. Das Definitionsbit der Filmdicke sollte entsprechend der Methode der Adressmessung und dem Zweck der Adressmessung bestimmt werden. Daher führt die gleiche Folie bei Verwendung unterschiedlicher Messmethoden zu unterschiedlichen Ergebnissen, d. h. zu unterschiedlichen Dicken.
Vakuum-Versilberungs-Vakuum-Massenspektrometer
Vakuum-Massenspektrometer werden häufig bei der Vakuumverdampfung, beim Vakuumsputtern und anderen Prozessen eingesetzt. Elektronenkollisionsquellen als Ionenquellen, die üblicherweise in Vakuum-Massenspektrometern verwendet werden, können in herkömmliche Elektronenkollisionsquellen, Elektronenoszillations-Kollisionsquellen und gepulste Elektronenkollisionsquellen unterteilt werden , Elektronenkollisionsquelle vom Ionenspeichertyp und Elektronenkollisionsquelle vom Entladungstyp usw.
Durchschnittliche Oberfläche durch Vakuumversilberung
Die Messung von Oberflächen in Dünnschichtölen ist kein geometrisches Konzept, sondern ein vergrabenes Konzept, das sich auf die Ansammlung von Oberflächenmolekülen (Atomen) bezieht. Die durchschnittliche Oberfläche bedeutet, dass die algebraische Summe der Abstände aller Punkte der Oberflächenatome zu dieser Oberfläche gleich Null ist, und die durchschnittliche Oberfläche ist eine Art Konzept.
Als Substratoberfläche bezeichnen wir üblicherweise die durchschnittliche Oberfläche der Ansammlung von Oberflächenmolekülen auf einer Seite des Substrats; Die durchschnittliche Oberfläche der Seite des Films, die nicht mit dem Substrat in Kontakt steht, wird als Formoberfläche des Films bezeichnet, und der gemessene Film wird als Formoberfläche des Films bezeichnet. Die Atome werden so neu angeordnet, dass die Dichte genau der des festen Feststoffmaterials entspricht und gleichmäßig auf der Oberfläche des Substrats verteilt ist. Zu diesem Zeitpunkt wird die durchschnittliche Oberfläche als äquivalente Oberfläche der Filmmasse bezeichnet; Gemäß den physikalischen Eigenschaften des gemessenen Films entspricht er einer Länge von einem dünnen Film aus festem Schüttgut mit der gleichen Breite wie der gemessene dünne Film. Die durchschnittliche Oberfläche zu diesem Zeitpunkt wird als äquivalente Oberfläche der physikalischen Eigenschaft bezeichnet des dünnen Films.
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