Vorbereitung eines Einkristallofens

Vorbereitung eines Einkristallofens

C. Öffnen Sie den Öleinlass der Vakuumpumpe, gießen Sie Vakuumpumpenöl in den Öleinlass der Vakuumpumpe, beobachten Sie den Ölstand der Vakuumpumpe bis zur 1/2-Position des Ölstandsbeobachtungsfensters, stoppen Sie das Ölen, öffnen Sie die Ölleitung Ventil auf der Pumpenseite, um das Öl in den unteren Hohlraum abzulassen, und schließen Sie den Ölanschluss.

D. Nachdem Sie die Vakuumpumpe 5 Minuten lang gestartet haben, schließen Sie das Ventil der Ölleitung auf der Pumpenseite, prüfen Sie, ob der Ölstand die Position 1/3----1/2 des Ölstandsbeobachtungsfensters erreicht, und schalten Sie die Vakuumpumpe aus , und entfernen Sie es aus dem Ölentladungs-Einkristallofen zur Wartungsmarke. Wenn er unter dem unteren Grenzwert liegt, wiederholen Sie die Schritte c und d.

A. Tragen Sie beim Betreten der Einkristallwerkstatt saubere Arbeitskleidung und Schuhe.

B. Überprüfen Sie vor dem Starten des Ofens die Wasser-, Strom- und Gasversorgung entsprechend den Prozessanforderungen und starten Sie den Ofen, nachdem Sie sich vergewissert haben, dass sie korrekt sind.

C. Bereiten Sie saubere Einweghandschuhe, hitzebeständige Handschuhe, Handtücher, Papiertücher, Schleiftücher, Alkohol, Staubsaugerbürsten, Staubsaugerröhren und Staubmasken vor.

D. Bereiten Sie Zangen, Schraubenschlüssel und verschiedene Spezialwerkzeuge für den Auf- und Abbau des Ofens vor.

e. Nehmen Sie das Einkristallgestell, den Edelstahlwagen mit Graphitteilen, den Edelstahlzylinder mit dem Bodenmaterial des Topfes und den Edelstahlwagen mit Silikonmaterial und entsorgen Sie diese sauber.

F. Bewegen Sie den Ofenkörper mit einem Handtuch von oben nach unten. Achten Sie beim Schrubben darauf, dass nicht alle Steuerkabel und Schalter beschädigt werden, und reinigen Sie den Bereich um den Ofen herum.

Betriebsprozess eines Einkristallofens

Arbeitsvorbereitung → Heißleckerkennung → Einkristall und Impfkristall entnehmen → Graphitteile herausnehmen und abkühlen → Reinigung des Vakuumfilters → Inspektion und Austausch des Vakuumpumpenöls → Reinigung der Graphitteile → Reinigung der Einkristall-Ofenkammer → Einbau der Graphitteile → Einbau des Quarztiegels → Installation des Siliziummaterials → Installation des Impfkristalls → Evakuierung, Leckerkennung → Argongasfüllung, Leistungserhöhung, Schmelze → Impfen, Einschnüren, Schultereinstellung, Schulterdrehung → Wachstum mit gleichem Durchmesser → Endbearbeitung → Leistungsreduzierung, Abkühlen beim Herunterfahren

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