Technische Eigenschaften des Doppeltür-Magnetron-Sputtertargets für die Vakuumversilberung
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Technische Eigenschaften des Doppeltür-Magnetron-Sputtertargets für die Vakuumversilberung
(1) Der unabhängige Vakuumkammerkörper wird zu einer Linie zusammengefasst, es können mehrere Zielpositionen, hohe Effizienz, große Kapazität, doppelseitige oder einseitige gleichzeitige Beschichtung ausgewählt werden
(2) Unabhängiger Vakuumschieber, zuverlässigeres Vakuumisolationsprojekt
(3) Molekularpumpen-Vakuumpumpsystem, stabile Pumpgeschwindigkeit, sauber und ölfrei
(4) Das Systemdesign der Vakuumkammer kann hinzugefügt werden und die mehrschichtige Filmbeschichtung kann nach der Erweiterung realisiert werden.
(5) Optimiertes Zielstrukturdesign, hohe Zielauslastungsrate
(6) Stabiler und schneller Sputter-Abscheidungsprozess
(7) Einführung eines Industriecomputers, eines SPS-Steuerungssystems zur Realisierung des automatischen Betriebs, einer Touchscreen-Mensch-Maschine-Dialogschnittstelle und eines Multifunktionsmenüs
(8) Präzises Verbund-Vakuummeter-Steuerungssystem mit hoher Messgenauigkeit, um eine genaue Steuerung des Vakuumsystems sicherzustellen
(9) Hochpräzises Gasflusskontrollsystem, hohe Messgenauigkeit und schnelle Reaktionsgeschwindigkeit, um eine stabile und kontrollierbare Zielarbeitsatmosphäre, einen stabilen Zielbetrieb, eine stabile Filmabscheidung und eine gleichmäßige Filmdicke sicherzustellen
(10) Die Ausrüstung verfügt über einen hohen Automatisierungsgrad, der einen unbemannten Betrieb ermöglicht, und das Werkstück kann vor und nach dem Beschichten automatisch zur vorgesehenen Station zurücklaufen
Vakuum-Silber-Indium-Zinn-Oxid-Film
Indiumzinnoxidfolie (kurz: Indiumzinnoxid, ITO) ist ein weit verbreitetes transparentes leitfähiges Material, das in Windschutzscheiben von Kraftfahrzeugen, Flüssigkristallanzeigegeräten, Solarzellen, Holographie- und Flüssigkristall-Farbfernsehern usw. weit verbreitet ist. Das Potenzial Ein Anwendungsgebiet ist die Anzeige organischer Leuchtdioden (Organic Light-Emitting Diode, kurz OLED). Aus anwendungstechnischer Sicht muss die Zusammensetzung des ITO-Films normalerweise aus In2O3 und SnO2 bestehen. Je weniger niedervalente Verbindungen von Indium und Zinn im Film enthalten sind, desto besser. Es gibt viele Methoden zur Herstellung von ITO-Dünnfilmen, wie z. B. Sprühen, Aufdampfen, Hochfrequenzsputtern und Magnetronsputtern.
Die ITO/ISI-Produktionslinie für die horizontale kontinuierliche Beschichtung ist eine groß angelegte kontinuierliche Produktionsanlage für planares Magnetron-Sputtern. Es verfügt über einen modularen Aufbau, der sich für zukünftige Erweiterungen und Upgrades eignet. Es ist mit mehreren Sätzen großformatiger Magnetronkathoden ausgestattet, die für die Kombination verschiedener Filmstrukturen verwendet werden können. Vollautomatische Steuerung, hochstabiles Übertragungssystem, das nahtlos mit dem Manipulator verbunden werden kann, um einen kontinuierlichen und stabilen Fließbandbetrieb zu erreichen; schneller Produktionsrhythmus und große Leistung.
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