Das Vakuumkammermaterial für die Vakuumversilberung ist größtenteils Edelstahl
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Das Vakuumkammermaterial für die Vakuumversilberung ist größtenteils Edelstahl
Das Vakuumkammermaterial der Ultrahochvakuumanlage ist größtenteils Edelstahl, was für die Reinigung von Edelstahl äußerst wichtig ist. Durch die Reinigung soll die Physisorption und Chemisorption von Gasen auf Edelstahloberflächen reduziert werden. Unreine Edelstahloberflächen werden mit einem Sekundärionenspektrometer und einem Auger-Spektrometer beobachtet. Die Hauptverschmutzung sind Kohlenstoff und seine Verbindungen, die zur organischen Substanz gehören. Daher ist die Verwendung verschiedener chemischer Lösungsmittel zur Entfernung organischer Oberflächenpartikel und Karbide eine gängige Methode.
Die Verdampfungsmethode mit Vakuumversilberungswiderstandsverdampfungsquelle weist eine einfache Struktur und niedrige Kosten auf
Die Vakuumverdampfungsbeschichtungsmaschine, die zum Erhitzen und Verdampfen eine Widerstandsheizung verwendet, bietet die Vorteile eines einfachen Aufbaus, niedriger Kosten und einer zuverlässigen Verwendung. In China werden bei der Herstellung von aluminisierten Spiegeln bislang noch zahlreiche Beschichtungsverfahren der Widerstandserhitzungsverdampfung eingesetzt. Bei der sogenannten Widerstandsverdampfungsquellen-Verdampfungsmethode werden Metalle mit hohem Schmelzpunkt wie Tantal, Molybdän, Wolfram usw. verwendet, um der Verdampfungsquelle eine geeignete Form zu geben, das zu verdampfende Material darauf zu legen und die Luft strömen zu lassen durch und erhitzen und verdampfen Sie das Verdampfungsmaterial direkt oder geben Sie das zu verdampfende Material hinein. Das Verdampfungsmaterial wird zur indirekten Erhitzungsverdampfung in Aluminiumoxid-, Berylliumoxid- und andere Tiegel gegeben. Dies ist die Widerstandserhitzungsverdampfungsmethode.
Vakuum-Versilberungswiderstandsverdampfungsquellen-Verdampfungsverfahren
Die Widerstandsverdampfungsquellen-Verdampfungsmethode ist eine grundlegende Beschichtungsmethode für Vakuumverdampfungsgeräte. „Verdampfung“ bezieht sich auf das Erhitzen und Verdampfen des Beschichtungsmaterials, das in einer Vakuumkammer zu einem dünnen Film geformt werden soll, so dass die Atome oder Moleküle des Materials von der Oberfläche verdampft werden und entweichen, um ein Dampfströmungsphänomen zu bilden, das auftritt auf der Oberfläche des Substrats oder Substrats und kondensiert schließlich, um eine feste Filmvorbereitungsmethode zu bilden.
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