Die Vakuumbeschichtungsmaschine kann das Arbeitsvakuum, das Erholungsvakuum, das Endvakuum und die Vakuumerhaltung nicht erreichen

Die Vakuumbeschichtungsmaschine kann das Arbeitsvakuum, das Erholungsvakuum, das Endvakuum und die Vakuumerhaltung nicht erreichen

1. In der Verdampfungskammer befindet sich viel Staub (sollte gereinigt werden)

2. Die Diffusionspumpe hat das Öl längere Zeit nicht gewechselt (das Öl sollte gereinigt und gewechselt werden)

3. Der Gegendruck der Vorvakuumpumpe ist zu hoch und der Vakuumgrad der mechanischen Pumpe ist zu niedrig (das Öl sollte gereinigt und gewechselt werden).

4. Jeder dynamische Dichtungsgummiring ist beschädigt (Gummiring ersetzen)

5. Aufgrund der langfristig hohen Temperatur der Verdampfungskammer sind die Dichtungsgummiringe gealtert (Gummiringe ersetzen)

6. Ob der Gummiring am Dichtungsteil des Wassereinlasses der Verdampfungskammer beschädigt ist (Gummiring ersetzen)

7. Ob die Schrauben und Muttern jedes Einführungssitzes locker sind (nachziehen)

8. Ob das Hoch- und Tief-Vorventil abgedichtet und zuverlässig ist (Ölfüllung)

Wenn die Vakuumbeschichtungsmaschine beschichtet, sinkt der Vakuumgrad plötzlich:

1. Gummiring der Verdunstungsquelle, Wasserstraße, beschädigter Ring (Gummiring ersetzen)

2. Der Tiegel ist durchbohrt (Tiegel austauschen)

3. Die Dichtung der Hochspannungselektrode ist kaputt (Gummiring ersetzen)

4. Der Gummiring ist an der rotierenden Dichtung beschädigt (Gummiring ersetzen)

5. Das plötzliche Schließen des Vorventils kann zu einer Beschädigung des Fünfwegeventils mit zwei Positionen führen (Fünfwegeventil mit zwei Positionen ersetzen).

6. Das plötzliche Schließen des Hochventils kann zu einer Beschädigung des Fünfwegeventils mit zwei Positionen führen (Fünfwegeventil mit zwei Positionen ersetzen).

7. Wenn die mechanische Pumpe stoppt, wird möglicherweise das Relais getrennt (überprüfen Sie, ob das Relais ordnungsgemäß funktioniert).

8. Die Dichtung der Backzuführungselektrode ist defekt (den Gummiring ersetzen).

9. Der Gummiring an der dynamischen Dichtung der Schallwand ist beschädigt (Gummiring ersetzen)

10. Der Glasbeobachtungsspiegel weist Risse und Brüche auf (Glas austauschen)

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