Die Vakuumbeschichtungsmaschine muss mit einer Vielzahl unterschiedlicher Pumpen kombiniert werden, um miteinander arbeiten zu können
Eine Nachricht hinterlassen
Die Vakuumbeschichtungsmaschine muss mit einer Vielzahl unterschiedlicher Pumpen kombiniert werden, um miteinander arbeiten zu können
Achten Sie bei der Auswahl einer Vakuumpumpe zunächst darauf, ob die von der Vakuumpumpe während des Betriebs erzeugten Vibrationen Auswirkungen auf den Prozess und die Umgebung haben. Bei Beeinträchtigung des Prozesses sind Vibrationsschutzmaßnahmen zu ergreifen oder eine andere Vakuumpumpe zu wählen. Bei der Auswahl müssen Sie die Zusammensetzung des zu pumpenden Gases kennen. Wenn selektives Pumpen erforderlich ist, reicht eine Pumpe möglicherweise nicht aus, um die Anforderungen zu erfüllen, und es müssen verschiedene Pumpen kombiniert werden, um zusammenzuarbeiten. Wenn für die Beschichtung der Vakuumbeschichtungsanlage kein Öl erforderlich ist, muss eine ölfreie Pumpe gewählt werden.
Der Preis und die Wartungskosten der Vakuumpumpe sind ebenfalls einer der wichtigsten Punkte, die wir berücksichtigen.
Für alle Quellen (Magnetron, Multi-Arc, ionisch) ist eine Vakuumbeschichtungskühlung erforderlich.
Das reaktive Magnetronsputtern von Isolatoren scheint einfach zu sein, aber die eigentliche Durchführung ist schwierig. Das Hauptproblem besteht darin, dass die Reaktion nicht nur auf der Oberfläche des Teils, sondern auch auf der Anode, der Oberfläche der Vakuumkammer und der Oberfläche der Zielquelle stattfindet. Dadurch kann es zu Feuerlöschungen, Lichtbögen an der Zielquelle und auf der Werkstückoberfläche usw. kommen. Die von Leybold in Deutschland erfundene Twin-Target-Source-Technologie löst dieses Problem sehr gut. Das Prinzip besteht darin, dass ein Paar von Zielquellen jeweils die Kathode und Anode bilden, wodurch die Oxidation oder Nitridierung der Anodenoberfläche vermieden wird. Für alle Quellen (Magnetron, Multi-Arc, Ionen) ist eine Kühlung notwendig, da ein großer Teil der Energie in Wärme umgewandelt wird. Bei fehlender oder unzureichender Kühlung führt diese Hitze dazu, dass die Temperatur der Zielquelle mehr als 1,{2}} Grad erreicht und die gesamte Zielquelle schmilzt.
www.superbheater.com
