Der Vakuumgrad der Vakuumbeschichtungsmaschine beeinflusst direkt den Beschichtungseffekt
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Der Vakuumgrad der Vakuumbeschichtungsmaschine beeinflusst direkt den Beschichtungseffekt
Methode zur Leckerkennung bei Vakuumbeschichtungsgeräten Hersteller von Vakuumbeschichtungsmaschinen führen die Inspektion von Luftlecks ein. Dies ist eine Inspektionsmaßnahme zur Sicherstellung des Vakuumgrads von Vakuumbeschichtungsgeräten, die als Leckerkennung bezeichnet wird. Der Vakuumgrad wirkt sich direkt auf den Beschichtungseffekt aus, sodass die Leckerkennung erfolgt wesentlich Weniger.
Im Allgemeinen wird die Luftleckage in der Vakuumkammer durch einige kleine Löcher in der Kammerwand oder durch die Verbindungsschlitze vor den Komponenten verursacht. Wenn das Luftabsaugsystem evakuiert wird, sinkt der Druck in der Vakuumkammer und der Druckunterschied zwischen außen und innen führt dazu, dass das Gas aus dem hohen Druck entweicht. Die Außenseite strömt mit geringem Druck in die Vakuumkammer, wodurch der Vakuumgrad sinkt.
Der Elektronenstrahl des Vakuumbeschichters kann den Rand des Tiegels treffen
Bei einer abnormalen Vakuumbeschichtungsanlage kann der Elektronenstrahl bei Erhöhung des Strahlstroms auf den Rand des Tiegels treffen, da die Position des Strahlflecks nicht in der Mitte liegt oder die Position des Strahlflecks in der Mitte liegt , aber das verdampfte Material ist eingedrungen usw. , es wird kein Hinweis auf hohen Druck geben. Dies liegt daran, dass der Hochspannungsausgang annähernd kurzgeschlossen ist, was dazu führt, dass der Elektronenstrahlstrom größer als der vorgegebene Wert ist und sich die Hauptschaltröhre im ausgeschalteten Zustand befindet und die gesamte Hochspannung trägt, so dass die Hochspannung anliegt -Spannung hat keinen Ausgang. Aufgrund des durch die Zündung verursachten übermäßigen Strahlstroms führt das in der Stromerkennungsschaltung R21 erhaltene Überstromsignal dazu, dass die D13-Reglerröhre durchbricht und leitet, BG14, BG15 und BG16 befinden sich im leitenden Zustand und C13 entlädt sich über BG14 und R51 . BG11, BG12, BG13 bald abschneiden, BG11-Ausgabe ist 0V. BG10 am Gate-Spannungsschaltkreis erhält das Eingangssignal von 0 V und schaltet sich aus, BG9 wird sofort eingeschaltet, der Pluspol von 550 V ist über BG9 mit der Kathode der Hauptschaltröhre verbunden und der Minuspol ist über die D5-Röhre mit dem Gate der Hauptschaltröhre verbunden. Holen Sie sich -550V Vorspannung und geben Sie die Tiefenabschaltung ein. Zu diesem Zeitpunkt gibt es keine Anzeichen einer hohen Spannung.
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