Technische Anforderungen an Vakuumbeschichtungsmaschine, Verdampfungsvakuum
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Technische Anforderungen an Vakuumbeschichtungsmaschine, Verdampfungsvakuum
1. Die Struktur der Ausrüstung sollte angemessen gestaltet, schön im Aussehen, einfach zu bedienen und leicht zu warten sein.
2. Die Struktur und Größe der statischen und dynamischen Dichtungen in der Ausrüstung sollte den Bestimmungen von GB/T 6070 und JB/T 1090-1092 entsprechen.
3. An den Niedervakuum- und Hochvakuumrohren und Beschichtungskammern sollten Vakuummessgeräte installiert werden, um den Druck jedes Teils zu messen.
4. Wenn die Vakuumeinheit des Geräts eine Diffusionspumpe als Hauptpumpe verwendet, sollte am Lufteinlass der Diffusionspumpe ein Prallblech oder eine Kühlfalle installiert werden.
5. Im Beschichtungsraum sollte ein Beobachtungsfenster vorhanden sein, und am Beobachtungsfenster sollten Strahlenschutzlinsen für Geräte installiert sein, die während des Beschichtungsprozesses Strahlung erzeugen.
6. Geräte mit Werkstückbackvorrichtung sollten über Temperaturmesselektroden oder Temperaturmessgeräte verfügen.
7. Die Drehzahl des Werkstückhalter-Drehmechanismus sollte den Produktdesignanforderungen entsprechen.
8. Die mit einem Ionenbeschussgerät oder einem Breitstrahl-Ionenquellengerät mit niedriger Energie ausgestatteten Geräte sollten in der Lage sein, länger als 30 Minuten kontinuierlich und stabil innerhalb der in den Produktdesignanforderungen festgelegten Parameter zu arbeiten.
9. Die Heizung, die Wolframdraht als Verdampfungswärmequelle verwendet, sollte eine normale Verdampfung des Verdampfungsmaterials ermöglichen, und die Geometrie der Heizung sollte die normale Verdampfung während des Verdampfungsprozesses nicht beeinträchtigen.
10. Der Betriebszustand der Verdampfungsquelle des Geräts sollte stabil und leicht einzustellen und zu kontrollieren sein. Die technischen Anforderungen für verschiedene Verdampfungsquellen (z. B. Widerstandsverdampfungsquellen, Elektronenstrahlverdampfungsquellen, Ionenstrahlverdampfungsquellen, Laserverdampfungsquellen, induktive Verdampfungsquellen usw.) sollten gemäß den entsprechenden Produktnormen festgelegt werden.
11. Wenn das Gerät eine Verdampfungsquelle mit Niederspannung und hohem Stromwiderstand verwendet, sollte jede Verdampfungsquellenheizung normal bei einer Spannung von 4 V bis 20 V und einem Strom von 50 A bis 180 A arbeiten.
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