Vakuumbeschichtungsmaschine Vakuumbeschichtungsmaschine ungleichmäßige Filmbildung
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Vakuumbeschichtungsmaschine Vakuumbeschichtungsmaschine ungleichmäßige Filmbildung
Mit der Entwicklung der Beschichtungstechnologie sind nach und nach verschiedene Arten von Vakuumbeschichtungsmaschinen aufgetaucht. Unabhängig davon, um welche Art von Vakuumbeschichtungsmaschine es sich handelt, wird die Gleichmäßigkeit des Films durch einige Faktoren beeinflusst. Jetzt verwenden wir den magnetischen Sputter-Vakuumbeschichter, um die Faktoren einer ungleichmäßigen Filmbildung zu analysieren.
Der Mechanismus der Vakuumbeschichtungsmaschine ist ein starres Getriebe
Im Vergleich zum Kettenübertragungsmechanismus ist der Mechanismus eine starre Übertragung, und es gibt kein Problem eines ungenauen Eingriffs. Gleichzeitig kann durch den geringen erforderlichen Übergangsraum die Umschaltzeit des Ventils zwischen den Vakuumkammern eingespart und die Atmosphäre zwischen verschiedenen Vakuumkammern weiter reduziert werden. miteinander verflochten. Dadurch werden die Stabilität und Zuverlässigkeit des Beschichtungsprozesses, die Ausbeute an fertigen Produkten sowie der Energieverbrauch und die Kosten erheblich verbessert.
Defekte am Kettentunnel-Übertragungsmechanismus der Vakuumbeschichtungsmaschine
Der Nachteil des Kettentunnel-Übertragungsmechanismus besteht darin, dass 1. die Verbindungsventile zwischen den Vakuumkammern größer sein müssen, damit die Atmosphären zwischen verschiedenen Vakuumkammern leicht miteinander verbunden werden können, wodurch die Beschichtungsqualität und -ausbeute usw. verringert wird .; 2. Der Bedarf an höheren Anforderungen ist aufgrund der flexiblen Struktur anfällig für eine ungenaue Anpassung, was zu Übertragungsfehlern führt. Der Übertragungsprozess des hin- und hergehenden Zahnstangen- und Schubstangenförderers der Vakuumbeschichtungsmaschine besteht darin, dass er oben in der Beschichtungskammer oder am Chassis (auf derselben Seite wie die Drehplatte) befestigt ist und das Zahnrad G und die Zahnstange H hin- und herbewegen kann -Schubstangenmechanismus, die Übertragung der rotierenden Werkstückstange Am von der Drehscheibe Jm der Vakuumkammer M zur Drehscheibe Jn der Vakuumkammer N erfolgt nacheinander. Die von den Zahnrädern und Zahnstangen genutzte Energie wird von Motoren erzeugt, deren Wellen außerhalb der Vakuumkammer abgedichtet sind. Um die selbstrotierende Werkstückstange von der Orbitalscheibe zu trennen und in die nächste Orbitalscheibe einzutreten, wird eine offene Verbindung zwischen der Orbitalscheibe und der rotierenden Welle übernommen. Kammer M wird in die nächste Beschichtungskammer N überführt.
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