Abschaltsequenz der Elektronenkanone der Vakuum-Galvanikmaschine

Abschaltsequenz der Elektronenkanone der Vakuum-Galvanikmaschine

1) Schalten Sie das Hochvakuummessgerät und die Molekularpumpe aus.
2) Wenn die Anzeige der Molekularpumpe 50 erreicht, schalten Sie nacheinander das Hochventil, die vordere Stufe und die mechanische Pumpe aus. In diesem Zeitraum dauert es etwa 40 Minuten.
3) Wenn er unter 50 liegt, schalten Sie die Wartungspumpe wieder aus.

Betrieb des Elektronenkanonen-Stromschranks einer Vakuum-Galvanikmaschine

1) Schalten Sie den Hauptstrom ein
2) Schalten Sie gleichzeitig die Stromversorgung der Elektronenkanonensteuerung I und der Elektronenkanonensteuerung II ein: Drücken Sie die Stromversorgung der Elektronenkanonensteuerung I, der Verzögerungsschalter, die Verzögerungs-, Strom- und Schutzleuchten leuchten und die Verzögerung und Schutzleuchten erlöschen nach drei Minuten, wenn die Hintertür nicht geschlossen ist oder das Wasserdurchflussrelais ausgeschaltet ist. Bei einem Fehler bleibt die Schutzleuchte immer eingeschaltet.
3) Schalten Sie die Hochspannung ein, die Hochspannung erreicht mehr als 10 kV, stellen Sie den Strahlstrom auf etwa 200 mA ein, das Vorhanggitter beträgt 20 V/100 mA, der Filamentstrom beträgt 1,2 A und der Ablenkstrom schwankt zwischen 1 und 1,7.

So verwenden Sie die Vakuumbeschichtungsmaschine

1) Schalten Sie die Wasserpumpe und die Luftquelle ein

2) Schalten Sie den Hauptstrom ein

3) Schalten Sie die Stromversorgung der Wartungspumpe und des Vakuummeters ein. Die Position des Vakuummeters ist V1. Warten Sie, bis der Wert unter 10 liegt, und fahren Sie dann mit dem nächsten Schritt fort. Es dauert etwa 5 Minuten.

4) Schalten Sie die mechanische Pumpe ein, pumpen Sie vor, schalten Sie die Turbomolekularpumpe ein, starten Sie sie, stellen Sie den Schalter des Vakuummeters auf die Position V2 und pumpen Sie auf weniger als 2, es dauert etwa 20 Minuten .

5) Nachdem Sie festgestellt haben, dass der Messwert der Turbomolekularpumpe 250 erreicht, schalten Sie die Vakuumpumpe aus, öffnen Sie den vorderen Motor und das Hochventil und fahren Sie mit dem Vakuumieren fort. Nachdem das Vakuum ein bestimmtes Niveau erreicht hat, kann das Hochvakuummeter rechts geöffnet werden, um den Vakuumgrad zu beobachten. Die Stromversorgung der Elektronenkanone kann erst eingeschaltet werden, wenn das Vakuum 2×10-3 erreicht.

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