Betriebshandbuch und Vorsichtsmaßnahmen des Vakuumwärmekompressions -Bindungsmaschine

Die Vakuum -Hot Press -Bindungsmaschine wird zum Versiegeln von harten plastischen organischen Chips wie PMMA, PC, CoC usw. . verwendet; Für mittlere und niedrige Hochtemperaturbindung von Substraten wie Glas, Siliziumwafern, Wafern, Saphir, Quarz usw. . Die maximale Temperatur des Laborvakuums heißen Presse beträgt 300 Grad. Die maximale Größe des versiegelten Produkts beträgt 230*200 mm. und spezielle Geräte für die Verarbeitung von mikrofluidischen Plastik -Chips .

Stellen Sie vor dem Einschalten des Stromschalters des Vakuum -Hot -Presses sicher, dass sich der Steuerschalter der Arbeitsschnittstelle im Aus -Status befindet. Das Modul funktioniert nicht. Überprüfen Sie bitte, ob die Verbindung zwischen dem Manometer und dem Heizmodul oder dem thermischen Sensor korrekt ist, oder wenden Sie sich an die Techniker des Unternehmens oder die Wartungsstation sofort .

Der Betrieb des Vakuum -Hot Press -Bindungsmaschine sollte die folgenden Schritte ausschließlich ausführen

(1) Überprüfen Sie, ob die Netzkabel des Vakuum -Hot Press -Bindungsmaschine, der Vakuumpumpe und des Luftkompressors korrekt angeschlossen sind.

(2) Stellen Sie den Chip in die Mitte der Arbeitsplattform (oder entsprechende Einrichtung), stellen Sie den Strich des Zylinders ein, schließen Sie die Luke, schalten Sie die Vakuumpumpe ein und entfernen Sie die Luft in den heißen Presse .}

(3) Drücken Sie den Zylindersteuerschalter, um den Druck auf dem Chip . zu bestimmen

(4) Temperatureinstellung: Stellen Sie die oberen und unteren Plattensteuerungsknöpfe an die erforderliche Temperatur . ein

(5) Drücken Sie die oberen und unteren Plattenregelschalter, um den Chip . zu starten und zu verbinden.

(6) Nach Abschluss der heißen Druckverbindung schalten Sie die oberen und unteren Plattenregelschalter aus, um die Heizplatte zu stoppen .

(7) Nachdem sich die Temperatur auf natürliche Weise zu den Prozessparametern abkühlt

(8) Öffnen Sie die Luke, den pneumatischen Luftkühlmodus und beschleunigen Sie die Kühlgeschwindigkeit

(9) Drücken

Betriebsverfahren und Vorsichtsmaßnahmen für Vakuum -Heißpressofen

{Oder

2. Bevor Sie den Netzschalter einschalten, müssen Sie den Status jedes Schalters überprüfen:

Oder

Oder Nachdem die obigen Überprüfungen korrekt sind, schalten Sie zuerst den Hauptleistungschalter ein und schalten Sie dann den sekundären Power -Switch . ein

3. Öffnen Sie den Ofen und geben Sie die Probe ein

Der Ofen befindet sich normalerweise in einem Vakuumzustand, wenn Sie nicht verwendet werden {., bevor Sie ihn verwenden. Körper .

Wenn Sie ohne Druck einteilen, dürfen Sie nicht vergessen, dass sowohl die innere als auch die äußere Isolierung abgedeckt werden müssen, da sonst die Temperatur möglicherweise nicht steigt. Wenn Sie das Sintern erwärmen möchten, müssen Sie die kleine Abdeckung in der Mitte der äußersten Isolationsabdeckung und die innere Isolierabdeckung entfernen, bevor Sie das Experiment . durchführen können

Hinweis: Wenn Sie die Probe platzieren, achten Sie darauf, das Heizelement nicht zu berühren, um einen Kurzschluss zwischen dem Heizelement und der Ofenschale . zu vermeiden

4. das Heizprogramm festlegen

1. Heizung: Im Allgemeinen ist die maximale Erwärmungsrate 10 Grad /min .. Wenn Sie sich in der frühen Phase des Experiments schnell erhitzen möchten, können Sie den Heizmodus auf "manuell" einstellen und den Strom im Uhrzeigersinn langsam einstellen, um den Strom langsam zu erhitzen. Im Allgemeinen können Sie zuerst unter 200 Grad manuell erwärmen, da die Temperaturregelung ungenau ist.

HINWEIS: Das Heizung muss unter Vakuum durchgeführt werden. Achten Sie auf den aktuellen Messgerät, dass der sekundäre Bewertungsstrom 700A . nicht überschreiten darf

2. Kühlung:

Es kann durch das Programm eingestellt werden oder die Heizung direkt ausschalten und es von selbst abkühlen lassen . Hinweis: Wasser darf während des Kühlprozesses nicht gestoppt werden

V . das Druckprogramm festlegen

1. Vorandrückung: Die Vorandrückung sollte vor dem Erhitzen durchgeführt werden, und der Druckeinstellungsbereich liegt normalerweise zwischen 1.0-1.5 mpa; Die Vorandrückung kann manuell erreicht werden .

Oder

A: Manuelles Druck: Drehen Sie das Druckpotentiometer und beobachten Sie gleichzeitig die Verschiebungsanzeige, wenn die Verschiebungsänderung sehr klein ist, dies bedeutet, dass die oberen und unteren Schläge die Probe . nach dem Druck des Drucks abgeschlossen haben.

B: Automatische Druckung: Setzen Sie zuerst den erforderlichen Druck auf das Instrument . Wenn der erforderliche Druck und der gemessene Druck im Grunde genommen gleich sind, drehen Sie den "Up-Down" -Schalter in die UP-Position, beobachten Sie die Verschiebung und den Druckänderungen. Position . Nachdem der Boden erreicht ist, drehen Sie den Schalter "Up-Stop-down" zur Stoppposition . Schließlich deaktivieren Sie die Hydraulikpumpe .

HINWEIS: Wenn Sie nicht unter Druck gesetzt oder entladen werden, sollte der Druck auf einen negativen Wert eingestellt werden und die Hydraulikpumpe sollte gestoppt werden . Stellen Sie den Zylinder auf die Stoppposition ein

Vakuumpumpe

Sechs, elektrische Ofenstaubsanlagen:

Schalten Sie den Vakuummessgeräte ein

1. Niedriges Vakuum: Schließen Sie alle Vakuumventile, starten Sie die mechanische Pumpe, warten Sie, dass sie normal läuft (ungefähr 1-2 min), öffnen Sie die niedrige Vakuumklappe, die zum Ofenkörper führt, das obere Schmetterlingsventil, und überprüft den Ofenkörper vorab.

Oder Vakuumgrad erreicht über 1 . 33 × 10-1 pa, bevor die Heiztaste einschalten, um die Probe zu erwärmen.

A: Das Vakuummessgerät hat zwei Bereichsmessgeräte, niedrige Vakuumbereiche 1 . 0 × 105-1.0 × 10-1; Hoher Vakuumbereich 1 . 0 × 10-1-1.0 × 10-5. Hinweis: Das obere Schmetterlingsventil und das Hauptsperrventil können nicht gleichzeitig geöffnet werden.

Siebtens kann die Schutzatmosphäre durch hohe Purity-Argon oder Stickstoff zum Sinternschutz geleitet werden .

Der Inflationsdruckbereich erfolgt vom normalen Druck bis 7000pa .

Achtel nach dem Experiment

1. Wenn nicht verwendet, sollte der Ofenkörper in einem Vakuumzustand aufbewahrt werden (öffnen Sie das Schmetterlingsventil der mechanischen Pumpe-Upper, um den Ofenkörper für etwa 1 Stunde zu vakuumieren, und der Druckmessgerät hinter dem Ofenkörper zeigt weniger als -0.1), ansonsten wird der Vakuum-Effizienz als nächstes reduziert.

2. schalten Sie den Chiller -Schalter aus;

3. Entfernen Sie das Beobachtungsglas des Vakuumofens (insbesondere das Beobachtungsfenster für das Infrarotinstrument) zum Reinigen;

4. Reinigen Sie die Oberfläche des elektrischen Ofens, um sie sauber zu halten.

5. Erstellen Sie relevante Datensätze im Experimentbuch .

6. Bevor Sie abreisen