Ein Teil der verdampften Partikel der Vakuumbeschichtungsmaschine kollidiert mit dem Substrat und wird umgelenkt
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Ein Teil der verdampften Partikel der Vakuumbeschichtungsmaschine kollidiert mit dem Substrat und wird umgelenkt
Nachdem die verdampften Partikel mit dem Substrat kollidieren, wird ein Teil umgekehrt und der andere Teil adsorbiert. Die Oberflächendiffusion von Adatomen erfolgt auf der Oberfläche des Substrats, und es kommt zu zweidimensionalen Kollisionen zwischen den abgelagerten Atomen, um Cluster zu bilden, von denen einige eine Zeit lang auf der Oberfläche verbleiben und dann verdampfen. Atomcluster kollidieren mit diffundierenden Atomen oder adsorbieren oder geben einzelne Atome ab, und dieser Vorgang wiederholt sich. Wenn die Anzahl der Atome einen bestimmten kritischen Wert überschreitet, wird er zu einem stabilen Kern, der dann kontinuierlich andere und zusammengesetzte Atome adsorbiert, um allmählich zu wachsen, und schließlich mit dem benachbarten stabilen Kern verschmilzt und dann zu einem kontinuierlichen Film wird.
Der Verdampfungsprozess der Vakuumbeschichtungsmaschine verbraucht kontinuierlich die innere Energie des Beschichtungsmaterials
Um Atome oder Moleküle in der flüssigen oder festen Phase der Verdampfungsthermodynamik von der Oberfläche des Beschichtungsmaterials zu entweichen, müssen sie genügend Wärmeenergie erhalten und eine ausreichend große thermische Bewegung aufweisen. Wenn die kinetische Energie der Geschwindigkeitskomponente seiner vertikalen Oberfläche ausreicht, um die Energie der gegenseitigen Anziehung zwischen Atomen oder Molekülen zu überwinden, ist es möglich, von der Oberfläche zu entkommen und vollständig zu verdampfen oder zu sublimieren. Je höher die Erhitzungstemperatur, desto größer ist die kinetische Energie der Moleküle und desto mehr Partikel verdampfen oder sublimieren. Der Verdampfungsprozess verbraucht kontinuierlich die innere Energie des Beschichtungsmaterials. Um die Verdunstung aufrechtzuerhalten, muss dem Beschichtungsmaterial kontinuierlich Wärmeenergie zugeführt werden. Offensichtlich hängt das Ausmaß der Verdampfung des Beschichtungsmaterials (ausgedrückt als Dampfdruck über dem Beschichtungsmaterial) während des Verdampfungsprozesses eng mit der Erwärmung (Temperaturanstieg) des Beschichtungsmaterials zusammen. Daher hängt die Wachstumsrate der Plattierungsschicht eng mit der Verdampfungsrate des Plattierungsmaterials zusammen.
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