Überprüfen Sie den Luftleckstatus der Vakuumbeschichtungsmaschine

Überprüfen Sie den Luftleckstatus der Vakuumbeschichtungsmaschine

Die Überprüfung des Leckagestatus ist eine Prüfmethode zur Sicherstellung des Vakuumgrades der Vakuumbeschichtungsmaschine, die als Leckerkennung bezeichnet wird. Die Ungleichmäßigkeit des Vakuumgrades wirkt sich direkt auf den Beschichtungseffekt aus, daher ist die Lecksuche unerlässlich.

Normalerweise entsteht Luftleckage in der Vakuumkammer durch kleine Löcher in der Kammerwand oder an den Verbindungsstellen der Komponenten. Die Außenseite strömt mit geringem Druck in die Vakuumkammer und bildet dort ein reduziertes Vakuum. Bei der Lecksuche müssen einige Probleme beachtet werden, um eine gute Lecksuche zu ermöglichen.

Überprüfen Sie zunächst, ob es sich bei dem Luftleck um ein virtuelles Leck oder ein echtes Leck handelt, da das Werkstückmaterial nach dem Erhitzen in unterschiedlichem Maße Gas erzeugt und es mit dem von außen einströmenden Gas verwechselt werden kann. Dies ist ein falsches Leck. Situation.

Zweitens testen Sie die Gasdichtheit der Vakuumkammer, um sicherzustellen, dass die Gasdichtheit den Anforderungen entspricht.

Drittens überprüfen Sie die Größe, Form, Position und Luftaustrittsgeschwindigkeit des Lecklochs, erstellen einen lösbaren Plan und setzen ihn um.

Viertens: Bestimmen Sie die minimale erkennbare Leckrate und die Leckerkennungsempfindlichkeit des Inspektionsinstruments und überprüfen Sie den Luftleckzustand im größten Maßstab, um zu verhindern, dass einige Lecks übersehen werden, und um die Genauigkeit der Leckerkennung zu verbessern.

Fünftens: Erfassen Sie die Reaktionszeit und Beseitigungszeit des Leckerkennungsinstruments, erfassen Sie die Zeit gut und stellen Sie sicher, dass das Leckerkennungsinstrument vorhanden ist.

Sechstens muss auch verhindert werden, dass das Leckageloch blockiert wird. Aufgrund von Betriebsfehlern verstopft manchmal etwas Staub oder Flüssigkeit das Leckageloch während des Leckerkennungsprozesses und geht davon aus, dass sich an dieser Position kein Leckageloch befindet. Wenn diese Verstopfungen jedoch aufgrund des Unterschieds zwischen Innen- und Außendruck zunehmen oder ein Leck vorliegt aus anderen Gründen nicht verstopft ist, besteht das Leck weiterhin.

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