Verwenden Sie die Schritte einer Vakuumbeschichtungsmaschine

Verwenden Sie die Schritte einer Vakuumbeschichtungsmaschine

1. Schalten Sie die Wasserpumpe und die Luftquelle ein.

2. Schalten Sie den Hauptstrom ein.

3. Schalten Sie die Stromversorgung der Wartungspumpe und des Vakuummeters ein. Die Position des Vakuummeters ist V1. Warten Sie, bis der Wert unter 10 liegt, und fahren Sie dann mit dem nächsten Schritt fort. Es dauert etwa 5 Minuten.

4. Schalten Sie die mechanische Pumpe ein, pumpen Sie vor, schalten Sie die Turbomolekularpumpe ein und starten Sie sie. Stellen Sie den Schalter des Vakuummeters auf die Position V2 und es dauert etwa 20 Minuten, bis die Pumpe weniger als 2 beträgt.

5. Nachdem der Messwert der Turbomolekularpumpe 250 erreicht hat, schalten Sie die Vorpumpe aus, öffnen Sie die Vorpumpe und das Hochvakuumventil und fahren Sie mit der Evakuierung fort. Nachdem die Evakuierung ein bestimmtes Niveau erreicht hat, kann das Hochvakuummessgerät auf der rechten Seite geöffnet werden, um den Vakuumgrad zu beobachten. Die Elektronenkanone kann erst eingeschaltet werden, wenn das Vakuum 2×10-3 erreicht.

Das zu beschichtende Material wird als Substrat bezeichnet, das zu beschichtende Material als Target. Das Substrat und das Target befinden sich in derselben Vakuumkammer.

Bei der Verdunstungsbeschichtung wird im Allgemeinen das Ziel erhitzt, damit Oberflächenbestandteile in Form von Radikalen oder Ionen verdampfen. Und es wird auf der Oberfläche des Substrats abgelagert, um durch einen Filmbildungsprozess einen dünnen Film zu bilden (Wachstum mit verstreuter inselartiger Struktur, vagaler Struktur und Schichten). Unter Sputterbeschichtung versteht man einfach das Beschießen des Targets mit Elektronen oder hochenergetischen Lasern, das Sputtern der Oberflächenbestandteile in Form von Atomgruppen oder Ionen und schließlich die Abscheidung auf der Oberfläche des Substrats, die durch den Film geht. Formungsprozess und schließlich Bildung eines dünnen Films.

www.superbheater.com