Konzept der Gleichmäßigkeit der elektrischen Heizrohrfolie:

Konzept der Gleichmäßigkeit der elektrischen Heizrohrfolie:

Der Prozess der Vakuumabscheidung ist sehr kompliziert. Aufgrund der unterschiedlichen Beschichtungsprinzipien kann es in viele Typen eingeteilt werden. Es hat einen einheitlichen Namen, nur weil es Hochvakuum benötigt. Daher sind für die Vakuumabscheidung mit unterschiedlichen Prinzipien auch die Faktoren, die die Gleichmäßigkeit beeinflussen, unterschiedlich. Und auch der Begriff der Einheitlichkeit selbst hat je nach Beschichtungsskala und Filmzusammensetzung unterschiedliche Bedeutungen.

1. Dickengleichmäßigkeit kann auch als Rauhigkeit verstanden werden. Aus der Perspektive des optischen Filmmaßstabs (d. h. 1/10 Wellenlänge als Einheit, etwa 100 Å) ist die Gleichmäßigkeit der Vakuumabscheidung ziemlich gut, und die Rauhigkeit kann leicht innerhalb von 1/10 der Wellenlänge des sichtbaren Lichts gesteuert werden, was bedeutet, dass es kein Hindernis für die Vakuumabscheidung für optische Eigenschaften des Films gibt. Wenn es sich jedoch um die Gleichmäßigkeit auf der Atomlagenskala handelt, d. h. um eine Oberflächenebenheit von 10 Å oder sogar 1 Å zu erreichen, ist dies der wichtigste technische Inhalt und technische Engpass bei der Vakuumabscheidung. Die spezifischen Steuerfaktoren werden im Detail nach verschiedenen Beschichtungen erklärt.

2. Gleichmäßigkeit der chemischen Zusammensetzung: Das heißt, in dem Film erzeugt die atomare Zusammensetzung der Verbindung aufgrund der geringen Größe leicht ungleichmäßige Eigenschaften. Wenn der Beschichtungsprozess des SiTiO3-Films nicht wissenschaftlich ist, dann ist die tatsächliche Oberflächenzusammensetzung nicht SiTiO3, sondern kann andere Beispiele sein. Der beschichtete Film ist nicht die chemische Zusammensetzung des gewünschten Films, in dem der technische Inhalt der Vakuumbeschichtung liegt.

3. Einheitlichkeit der Gitterordnung: Dies bestimmt, dass der Film einkristallin, polykristallin und amorph ist, was ein heißes Thema in der Vakuumabscheidungstechnologie ist. Siehe unten für Details.

Es gibt zwei Hauptkategorien: Verdampfungsbeschichtungen und Sputterbeschichtungen, einschließlich vieler Arten, einschließlich Vakuumionenverdampfung, Magnetronsputtern, MBE-Molekularstrahlepitaxie, Sol-Gel-Verfahren usw

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