Halbleiter-Ultraschallreinigungsmaschine
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Halbleiter-Ultraschallreinigungsmaschine
Die Halbleiterindustrie ist der Kern der modernen Elektronikindustrie, und die Grundlage der Halbleiterindustrie ist die Siliziummaterialindustrie. Obwohl weiterhin eine Vielzahl neuer Halbleitermaterialien auf den Markt kommen, werden mehr als 90 Prozent der Halbleiterbauelemente und -schaltkreise, insbesondere ultragroß integrierte Schaltkreise (ULSI), auf hochreinen und hochwertigen Silizium-Einkristall-Polier- und Epitaxiewafern hergestellt.
Die Bedeutung der Reinigung von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie wird seit den frühen 1950er Jahren hoch geschätzt, da Verunreinigungen auf der Oberfläche von Siliziumwafern die Leistung, Zuverlässigkeit und Ausbeute von Geräten ernsthaft beeinträchtigen können. Mit der rasanten Entwicklung der Mikroelektronik-Technologie und dem steigenden Bedarf an Rohstoffen wird der Einfluss von Schadstoffen auf Geräte immer deutlicher.
In den 1970er Jahren wurde ein Mehrkanal-Elektronenvervielfacher entwickelt, der auf einem Einkanal-Elektronenvervielfacher basierte. Mikrokanalplatten sind aufgrund ihrer einfachen Struktur, hohen Verstärkung, schnellen Reaktionszeit und räumlichen Abbildungseigenschaften weit verbreitet. Es wird hauptsächlich in verschiedenen Arten von Bildverstärkern, Nachtsichtgeräten, Quantenpositionsdetektoren, Strahlenverstärkern, Feldionenmikroskopen, ultraschnellen Breitbandoszilloskopen, photoelektrischen Multiplikatoren usw. verwendet. Die Mikrokanalplatte ist ein Multi-Array-Elektronenvervielfacher, der die Kernkomponente eines Bildverstärkers bei geringer Lichtstärke darstellt. Der Herstellungsprozess von MCP ist langwierig und komplex, und die offensichtlichen Mängel sind einer der Schlüsselfaktoren, die die MCP-Ausbeute einschränken. Während des Herstellungsprozesses von MCP ist eine Kontamination durch Staub, Metalle, organische Substanzen und anorganische Substanzen unvermeidlich. Diese Schadstoffe können leicht Oberflächendefekte und Schmutz in den Löchern verursachen, was zu Emissionspunkten, schwarzen Flecken, dunklen Flecken usw. führt, was zu einem Rückgang der MCP-Ausbeute führt und die Qualität der Rohre instabil und sogar unwirksam macht. Daher ist es wichtig, Ultraschallreinigungstechnologie zu verwenden, um Verunreinigungen während des Herstellungsprozesses von MCP zu entfernen.
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