Beschickung und Impfung von Einkristallöfen:
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Beschickung und Impfung von Einkristallöfen:
Nachdem das Vorheizen beendet ist, wird das Material geschmolzen und die Spannung wird auf die Spannung umgeschaltet, wenn das Material geschmolzen ist. Der Generatorsollwert beträgt 40-60 %; Nachdem das polykristalline Material geschmolzen ist, werden der Impfkristall und das geschmolzene Silizium verschweißt und die Schmelzzone wird nach dem Schweißen umgeformt. , Aussaat; (4) Wachsende Hälse: Nach der Aussaat werden die Hälse gezüchtet, der Durchmesser der Hälse beträgt 2-6mm und die Länge beträgt 30-60mm;
Schultererweiterung des Einkristallofens und Stickstofffüllung:
Dehnen Sie nach dem Wachstum des Halses die Schultern aus, reduzieren Sie die niedrigere Geschwindigkeit langsam auf 3 ± 2 mm/min, während gleichzeitig der Durchmesser der erweiterten Schultern zunimmt, verringern Sie ihn weiter und reduzieren Sie ihn auf 8 ± 4 U/min und reduzieren Sie ihn langsam und auf 1 ± 0,5 U/min hochdrehen; Um eine Hochdruckionisation zu verhindern, wird ein bestimmter Anteil Stickstoff in eine Argon-Schutzatmosphäre gefüllt, und das Mischungsverhältnis von Stickstoff beträgt 0,01 % bis 5 % des Mischungsverhältnisses von Argon;
Beschickung und Impfung von Einkristallöfen:
Nachdem das Vorheizen beendet ist, wird das Material geschmolzen und die Spannung wird auf die Spannung umgeschaltet, wenn das Material geschmolzen ist. Der Generatorsollwert beträgt 40-60 %; Nachdem das polykristalline Material geschmolzen ist, werden der Impfkristall und das geschmolzene Silizium verschweißt und die Schmelzzone wird nach dem Schweißen umgeformt. , Aussaat; (4) Wachsende Hälse: Nach der Aussaat werden die Hälse gezüchtet, der Durchmesser der Hälse beträgt 2-6mm und die Länge beträgt 30-60mm;
Reinigung und Beladung des Einkristallofens:
Reinigen Sie die Innenwand des gesamten Ofens sowie die Heizschlange, den Reflektor, den Kristallhalter, den oberen Schacht und den unteren Schacht, stellen Sie die Höhe der Heizschlange und des Reflektors sowie die Ausrichtung mit dem oberen Schacht und dem unteren Schacht ein. Befestigen Sie die Halterung für polykristallines Material an der Kerbe am Ende des Kristallmaterials und installieren Sie sie dann am Ende des oberen Schafts, um das polykristalline Material auszurichten. Laden Sie den Impfkristall in das Impfkristallfutter und installieren Sie ihn dann oben auf der unteren Welle. Schließen Sie jede Ofentür. Ziehen Sie die Befestigungsschrauben fest.
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