Einkristallofen gefüllt mit Argongas, Literleistung, Schmelzmaterial

Einkristallofen gefüllt mit Argongas, Literleistung, Schmelzmaterial

A. Nachdem Sie das Leck beseitigt und den Test bestanden haben, schalten Sie die Vakuumpumpe ein.

B. Öffnen Sie langsam den Kugelhahn.

C. Schalten Sie das Argongas-Ladesystem ein und stellen Sie die Argon-Durchflussrate in der Hilfskammer auf 20–30 l/min ein, um den Druck im Ofen bei 1000–1500 Pa zu stabilisieren.

D. Schalten Sie den Heizungsschalter ein.

e. Erhöhen Sie die Leistung gemäß der folgenden Tabelle schrittweise über das europäische Messgerät. Jede Erwärmung wird entsprechend erfasst. Bei der Verwendung des Eurometers muss mit Vorsicht vorgegangen werden, um einen schnellen Leistungsanstieg zu vermeiden, der zu einer sofortigen Überlastung des Transformators oder zu einem plötzlichen Überstrom im gesamten Heizkreis führen und zu Entzündungen oder Schäden führen kann. Das Erhitzen sollte in strikter Übereinstimmung mit der Erhitzungssequenz durchgeführt werden, da sonst die Temperatur plötzlich ansteigen und dazu führen kann, dass der Quarztiegel reißt und Silizium austritt.

Zeitkraft

0mindestens 50 KW

30min 70KW

60min<100KW

F. Achten Sie beim Schmelzvorgang stets auf die Situation im Ofen. Wenn kein abnormaler Zusammenbruch auftritt, wird der Tiegel auf eine Rotationsgeschwindigkeit von 2 U/min eingestellt und die entsprechende Position des Tiegels angehoben. Und machen Sie entsprechende Aufzeichnungen. Achten Sie beim Anheben des Tiegels darauf, dass die Oberfläche der Siliziumflüssigkeit nicht die Unterkante des Führungsrohrs berührt. Vergewissern Sie sich nach dem Anheben des Topfes, dass der Topf keine Wirkung auf die Skala der Topfposition hat. Andernfalls bleibt das Umleitungsrohr am Silikon hängen und es kommt zum Austreten von Silikon.

G. Wenn das Material geschmolzen ist, reduzieren Sie die Heizleistung auf die Impftemperatur (entsprechend der Ofentemperatur). Stellen Sie den Topf auf 5 bis 7 U/min und machen Sie entsprechende Aufzeichnungen.

H. Wenn der Eurometer-Wert auf den Wert sinkt, der der Aussaattemperatur entspricht, wird die automatische Einschaltung durchgeführt und der Topf wird in die stabile Position des Aussaattopfes angehoben, d. h. auf den Abstand vom Führungsrohr zur Flüssigkeitsoberfläche ca. 15mm. Die Position des Saatgefäßes kann auch anhand der Erhöhung/Verringerung der Zufuhrmenge basierend auf der Beladung des Ofens bestimmt werden. Einzelheiten finden Sie in Anhang A. Referenztabelle zur Änderung der Aussaatposition. Und machen Sie entsprechende Aufzeichnungen.

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