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Die Mängel des Kettentunnel-Übertragungsmechanismus der Vakuumbeschichtungsmaschine sind:

Die Mängel des Kettentunnel-Übertragungsmechanismus der Vakuumbeschichtungsmaschine sind:

 

1. Das Verbindungsventil zwischen den Vakuumkammern muss größer sein, damit die Atmosphären zwischen verschiedenen Vakuumkammern problemlos miteinander verbunden werden können, wodurch die Beschichtungsqualität und -ausbeute usw. verringert wird. 2. Eine höhere Konstruktionsgenauigkeit und ein höheres Verarbeitungsniveau sind erforderlich, da es sich um eine flexible Struktur handelt, die anfällig für ungenaue Anpassungen ist, was zu Übertragungsfehlern führt. Der Übertragungsprozess des hin- und hergehenden Zahnstangen- und Schubstangenförderers der Vakuumbeschichtungsmaschine besteht darin, dass er oben in der Beschichtungskammer oder am Chassis (auf der gleichen Seite wie die Drehplatte) befestigt wird und das Zahnrad G und die Zahnstange hin- und herbewegen kann Beim H-Schubstangenmechanismus wird die rotierende Werkstückstange Am nacheinander von der Drehscheibe Jm der Vakuumkammer M zur Drehscheibe Jn der Vakuumkammer N übertragen. Die von den Zahnrädern und Zahnstangen genutzte Energie wird von Motoren erzeugt, deren Wellen außerhalb der Vakuumkammer abgedichtet sind. Um die selbstrotierende Werkstückstange von der Orbitalscheibe zu trennen und in die nächste Orbitalscheibe einzutreten, wird eine offene Verbindung zwischen der Orbitalscheibe und der rotierenden Welle übernommen. Kammer M wird in die nächste Beschichtungskammer N überführt.

Im Vergleich zum Kettenübertragungsmechanismus ist der Mechanismus eine starre Übertragung, und es gibt kein Problem eines ungenauen Eingriffs. Gleichzeitig kann durch den geringen erforderlichen Übergangsraum die Umschaltzeit des Ventils zwischen den Vakuumkammern eingespart und die Atmosphäre zwischen verschiedenen Vakuumkammern weiter reduziert werden. miteinander verflochten. Dadurch werden die Stabilität und Zuverlässigkeit des Beschichtungsprozesses, die Ausbeute an fertigen Produkten sowie der Energieverbrauch und die Kosten erheblich verbessert.

Mit der Entwicklung der Wirtschaft und der Verbesserung des Lebensstandards optimieren die Menschen gerne Uhrengehäuse, Uhrenarmbänder, Kleidung, Beleuchtung, Brillengestelle, Innen- und Außendekorationen, Hardware-Gepäck, Mobiltelefonhüllen, Mobiltelefonbildschirme und Sanitärartikel , Lebensmittelverpackungen und andere Dekorationen. Bunt dekoriert.

Anwendung der Beschichtungsfähigkeiten von Vakuumbeschichtungsmaschinen bei der Herstellung integrierter Schaltkreise

Die Schutzschicht (SiO2, Si3N4) und die Elektrodenleitung (Polysilizium, Aluminium, Kupfer und seine Legierungen) in der Transistorschaltung bestehen größtenteils aus CVD-Technologie, PVCD-Technologie, Vakuumverdampfungsmetalltechnologie, Magnetron-Sputtertechnologie und Hochfrequenz-Sputtertechnologie. Es ist ersichtlich, dass das Aufdampfen eine der Kernkompetenzen bei der Herstellung integrierter Schaltkreise ist.

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