Die Ionenplattierungstechnologie der Vakuumgalvanikmaschine hat viele Vorteile
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Die Ionenplattierungstechnologie der Vakuumgalvanikmaschine hat viele Vorteile
Aufgrund der vielen Vorteile der Ionenplattierungstechnologie wird sie in vielen Bereichen die Galvanisierung und Vakuumverdampfung ersetzen. Dieser Entwicklungstrend wird für viele Labore und eine große Anzahl von Unternehmen ein Paar Widersprüche mit sich bringen. Andererseits blieb die vorhandene Vakuumverdampfungsanlage ungenutzt. Der beste Weg, diesen Widerspruch zu lösen, besteht darin, die vorhandenen Vakuumverdampfungsanlagen mit sehr geringen Investitionen umzubauen. In dieser Hinsicht haben wir Erfolge erzielt, und nur das Hinzufügen einiger allgemeiner Geräte (Spannungsregler, Nadelventil, Siliziumstapel usw.) kann dazu führen, dass die Vakuumgalvanisierungsmaschine nicht nur die ursprüngliche Vakuumverdampfungsfunktion beibehält, sondern auch über die Funktion der Ionenplattierung verfügt .
Nachteile des Massenspektrometers für Vakuumgalvanisierungsmaschinen:
umständliche Bedienung, nichtlinearer Qualitätsstandard, erforderliches Magnetfeld, komplizierte automatische Aufzeichnung von Spektrallinien und Unfähigkeit zur Erkennung durch Elektronenvervielfacher, was den minimal nachweisbaren Partialdruck begrenzt.
Vorteile des Massenspektrometers für Vakuumgalvanisierungsmaschinen:
wenige Teile, dünne Elektrode, kleines Volumen, weniger Ausgasung und fast kein „Memory-Effekt“ usw. Es eignet sich besonders für die Restgasanalyse kleiner Volumina im Ultrahochvakuum.
Hauptparameter des Massenspektrometers einer Vakuumgalvanisierungsmaschine
Die Hauptparameter des Massenspektrometers sind: Empfindlichkeitskonstante, Zyklotronresonanzfrequenz, maximaler Radius, den nichtresonante Ionen der Masse M plus △M erreichen können, Auflösungsvermögen, Endenergie resonanter Ionen, Flugbahnlänge resonanter Ionen und Flugzeit der resonanten Ionen und die Anzahl der Zyklotrons des resonanten Ions usw.
Analysator für Zyklotron-Massenspektrometer in Vakuum-Galvanikmaschine
Da sich der Analysator und die Ionenquelle des Zyklotron-Massenspektrometers auf engstem Raum befinden, wird das elektrische Feld durch die nichtresonanten Ionen gestört. Um die durch die nichtresonanten Ionen verursachte Verzerrung des elektrischen Feldes zu überwinden, wurde daher auf der Grundlage des einfachen Zyklotron-Massenspektrometers ein Zyklotron-Massenspektrometer mit einer komplexen Röhrenform entwickelt, dessen Leistung stabiler war als die einer einfachen Zyklotronmasse Spektrometer.
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