Ton- und Lichtalarm bei abnormaler Situation der Vakuumbeschichtungsmaschine
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Ton- und Lichtalarm bei abnormaler Situation der Vakuumbeschichtungsmaschine
Bei der aufblasbaren Methode können Massendurchflussmesser, Schwimmerdurchflussmesser plus Nadelventil und entsprechendes Aufblasventil sowie eine Mehrkanal-Aufblasleitung und entsprechende Durchflussparameter ausgewählt werden.
Abhängig von der zu backenden Struktur werden die Backtemperatur, das Material und die entsprechende Instrumentenmessung vorgeschlagen.
Abhängig von den Eigenschaften der Ausrüstung können manuelle, halbautomatische, vollautomatische oder eine Kombination von Steuerungsmethoden ausgewählt werden.
Das perfekte Alarmsystem bietet Ton- und Lichtalarme für abnormale Situationen wie Vakuumkammerkörper, Phasenausfall der Diffusionspumpe, Wassermangel, Luftdruck, Überspannung und Überstrom der Stromlast.
Vakuumbeschichtungsmaschine Vakuummessung optional digital
Wählen Sie die Beschichtungsmethode und -form entsprechend den Prozessanforderungen aus, z. B. Widerstandsverdampfung (Wolframdraht, Molybdänschiffchen, Graphitschiffchen), Magnetronquelle (koaxiale zylindrische Magnetronquelle, zylindrische planare Magnetronquelle, rechteckige planare Magnetronquelle usw.). Zielmaterial und -größe, Multi-Bogenquellen (Target mit Durchmesser 60, 80, pneumatische und elektrische Lichtbogenzündung usw.), Vakuummessung kann zwischen digitalem, intelligentem Vakuummeter und seinem hochwertigen Messgerät sowie anderen Messgeräten wie Automatik wählen Druckregler usw. Die Filmdickenmessung kann ein quadratisches Widerstandsmessgerät, ein Transmissionsmessgerät usw. wählen.
Geschwindigkeitsbereich und Rotationsgenauigkeit der Vakuumbeschichtungsmaschine
1. Der Ofenkörper kann eine doppelschichtige wassergekühlte Struktur aus Edelstahl, Kohlenstoffstahl oder einer Kombination daraus wählen.
2. Wählen Sie entsprechend den Prozessanforderungen unterschiedliche Spezifikationen und Arten von Beschichtungsgeräten. Zu den Typen gehören Widerstandsverdampfung, Elektronenstrahlverdampfung, Magnetronsputtern, reaktives Magnetronsputtern, Ionenplattieren, Hohlkathoden-Ionenplattieren, Multibogen-Ionenplattieren usw.
3. Zu den Betriebsformen der Vorrichtung gehören Drehung, Drehung und Drehung plus Drehung. Je nach Größe und Form des Untergrundes können Anwender entsprechende Anforderungen stellen. Der Drehzahlbereich und die Drehzahlgenauigkeit: gewöhnliche einstellbare und variable Frequenzgeschwindigkeitsregelung.
4. Das Vakuumsystem besteht aus einer mechanischen Pumpe, einer Diffusionspumpe, einer Öldruckerhöhungspumpe, einer Augmentationspumpe, einer Roots-Pumpe, einer Tiegelrad-Molekularpumpe usw. und verschiedenen dazu passenden pneumatischen, manuellen, elektrischen Ventilen, Rohrleitungen usw.
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